实现亚微米级的测量精度

2019年4月9日

EVT的EyeVision软件现在支持FocalSpec 3D线共焦扫描仪UULA,这是一种自动化光学3D成像和测量系统,可对任何材料进行亚微米级精确测量。

它是一个独立的系统,用于研发实验室、智能制造和质量控制。

UULA中使用的线共焦成像(LCI)技术使用户能够建模最苛刻的表面和形状,甚至是镜面、弯曲和透明的物体。UULA的LCI传感器每秒检测数百万个3D点,它可以区分小于一微米的不规则情况。UULA由光源和相互呈一定角度排列的CMOS阵列组成。

EyeVision软件可以对捕获的点云和剖面进行不同的测量。可以将计量命令集以及3D配置文件命令应用于扫描。例如,Profile Match命令可以将以前配置的概要文件与扫描的概要文件进行比较,因此可以检测缺陷概要文件。

与旧的测量方法相比,使用特殊的3D技术“线共焦成像(LCI)”,据称在工业环境中可以实现实验室水平的精度。LCI技术可提供金属、玻璃、纸张或塑料表面的精确数据和高分辨率3D成像。

LCI可以自动、高速、高精度地扫描具有挑战性的表面和形状,例如镜面、曲面或多层透明物体。

UULA可以测量三维地形和尺寸。它可以对透明物体进行层析成像,也可以进行扩大锐焦范围的高精度二维成像。


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