半导体晶圆制造工厂的TSCH网络

2018年11月19日

Linear Group基于tsch的SmartMesh IP模拟设备的功率已经部署在硅谷的晶圆制造(fab)设施中,用于监控用于晶圆制造的各种蚀刻和清洗阶段的数百个特种气瓶的压力。

以前,每天手动检查三次压力,每天总共需要手动工作4个小时。SmartMesh IP网络用于自动化测量,并将读数直接发送到设备的控制中心软件。在煤气库中,部署了32个无线节点,每个节点测量一对气瓶的气罐压力和调节压力。该网络产生每秒3千比特的传感器数据。

工厂中的射频条件是典型的工业环境,无线节点被金属、混凝土包围,工作人员和设备全天在该区域移动。该网络已经连续运行了83天,发送了超过18.8千兆的数据,并经历了7个9(>99.99999%)的可靠性。


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