六轴真空兼容运动解决方案

2015.11.09

PC控制的“双晶体表征定位系统”包括三个步进电机驱动的转盘和一个350mm行程步进驱动的线性轴，它们结合起来支持光学衍射支架和传感器，两个35mm行程手动可调的线性阶段用于预先定位静态光学设备。

LG Motion的预编程用户界面使操作员和主管级访问设置和校准光学系统，并加载和运行编码的预定义特性例程，运行在PC和运动控制器上，产生和存储特性数据。

该系统包括一个控制柜，其中包含运动控制器和步进电机驱动器，所有定位机械装置安装在一个铝制底板上。AWE将机械设备集成到真空室中，并通过真空隔板通过5m电缆连接到机柜。供应范围包括10-6真空制备，具有特殊润滑和孔作为通孔或泄料交叉孔，以避免在真空下形成腔的任何可能性。

旋转和线性工作台是LG运动LG系列的真空改装标准工作台-一系列标准线性，旋转和仰角工作台，带有步进或伺服电机，旨在提供完整的多轴定位解决方案。